真空

NW配管は、半導体製造装置、電子顕微鏡、粒子加速器、真空乾燥機など、真空状態を必要とするあらゆる産業・研究システムにおいて、流体ラインをを構築するために広く用いられている配管規格です。正式にはISO 2861で規定された「ISO-KF規格」ですが、日本では歴史的な呼称である「NWフランジ」や「KFフランジ」という名称が一般的に使用されています。配管同士を接続する継手（フランジ）において、ボルトとナットによる強固な締結を必要とするJIS規格やICF規格とは違い、NW配管は「平滑なフランジ」「Oリングを保持する金属環」「蝶ねじを備えた外部クランプ」という三つの要素で構成されます。工具を使用せずに素手で着脱が可能であるという作業性と、高真空領域まで対応できる信頼性の高い気密性を両立させている点が特徴です。